晶圆卡匣/PP卡匣/PPCassette
介绍
PP Cassette/晶圆卡匣可承载半导体晶圆片的容器,使用在站别运输或出货用途。
※不可使用于化学制程。
规格
Product name
产品名称
晶圆卡匣/PP卡匣/PP Cassette
Material
组成材质
PP, ESD
Color
颜色
Original本色/ Black黑色
Size
尺寸
4” – 25 Slot
6” – 25 Slot
8” – 25 Slot
Cassette卡匣依材质特性的选择参考:
材质
耐温度
特性
Cassette 应用
PFA Cassette
铁氟龙卡匣
200~220℃
耐强酸强氟酸强碱
酸碱制程中使用
PP Cassette
40~60℃
重量轻,可焊接,缺点易变形。
一般传输制程
PEEK Cassette
120℃
硬度高、耐磨,不易变形。
PC Cassette
80~100℃
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形
PEI Cassette
130~150℃
耐磨、抗静电性。