产品详情
晶舟自动化传输盒(8吋)/晶舟传送盒/ SMIFPod/Wafer SMIF Pod
介绍
SMIF Pod 晶舟自动化传送盒，自动化传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。
●高洁净度承载，选配充气功能，耐高温耐磨耗材质
● CHD三点定位接触设计，减少印痕
规格
Product name 产品名称 | 晶舟自动化传输盒(8吋)/晶舟传送盒/ SMIF Pod/Wafer SMIF Pod
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Material 组成材质 | PC, PC ESD |
Color 颜色 | Original(Transparent) 本色(透明)
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Size 尺寸 | 8” |